潔凈室幾個熱點問題歸納和分析

　　一.前言

　　潔凈室的氣流速度/換氣次數，一直是潔凈室設計中受到關注的問題，隨著潔凈室污染源的控制效果增加及末級過濾器效率的提高等，對有關規范、導則等提出的推薦或參考值是否偏于保守，已有不少討論;FFU在應用中人們擔心的噪音、損壞維修等問題已在實踐中得到解決，隨著FFU的不斷改進，對是否采用FFU回風系統也是個熱點：懸浮分子污染(AMC)的控制在微電子及IC工業中已日益提到日程上來，受到關注。以下對這些問題的情況分別作歸納和分析。

　　二.氣流速度

　　2.1有關推薦或參考值的應用

　　潔凈室內一定潔凈度下氣流速度的確定，隨潔凈室用途等具體情況而異，它不僅受室內發塵量及過濾器效率還受其他因素影響，就工業潔凈室而言，影響潔凈度及選擇氣流速度的因素主要是：

　　(1)室內污染源：建筑物組件、人員數量及操作活動、工藝設備、工藝材料及工藝加工本身等都是塵粒釋放源，根據具體情況而異，變化很大;

　　(2)室內氣流流型及分布：單向流要求均勻、平等的流線，但會受到工藝設備布置和位置變動及人員活動情況等的干擾形成局部渦流;而非單向流要求充混合，避免死角及溫度分層;

　　(3)自凈時間(恢復時間)的控制要求：潔凈室中事故釋放或帶入污染物或空氣氣流的中斷或正常操作時的間歇性對流氣流或人及設備的移動等都會造成潔凈度的惡化，恢復到原來潔凈度的自凈時間決定于氣流速度;對自凈時間的控制要求取決于此時間框架內(惡化的潔凈度下)，對產品生產的質量及成品率影響的承受能力;

　　(4)末級過濾器的效率：在一定的室內發塵量下，可采用較高效率的過濾器以降低氣流速度;為節能應考慮采用較高效率的過濾器，并降低氣流速度，或采用較低效率的過濾器并采用較高的氣流速度，以求流量與阻力的乘積最小;

　　(5)經濟性考慮：過大的氣流速度造成投資及運行費用的增加，合適的氣流速度為以上諸因素合理的綜合，過大往往不必要，亦不一定有效果;

　　(6)對潔凈度要求低的潔凈室，有時換氣次數決定于室內排熱的要求。

　　以上因素，皆很難量化，只能分析對比并估計。因此在工程應用中，對潔凈室的氣流速度往往參照有關規范、導則等的推薦或參考值，再按具體情況估計以上各影響因素進行綜合考慮后確定。